磁盘用玻璃基板的制造方法

摘要

本发明提供磁盘用玻璃基板的制造方法，在使用氧化锆磨粒作为游离磨粒的研磨磨粒进行研磨来制造磁盘用玻璃基板时，难以引起磁头划碰故障、热粗糙故障等不良情况。该制造方法具有如下研磨工序：将至少具有一对主表面和构成内孔及外形的2个侧壁面的面包圈型的玻璃基板保持在载具中，在该状态下用安设于研磨定盘的研磨垫夹住上述一对主表面，向上述一对主表面供给研磨液，同时利用上述载具的行星齿轮运动来研磨上述玻璃基板，该制造方法的特征在于，上述研磨液含有利用湿式法制造的氧化锆颗粒作为研磨磨粒。

主权项

一种磁盘用玻璃基板的制造方法，其具有如下研磨工序：将至少具有一对主表面和构成内孔及外形的2个侧壁面的面包圈型的玻璃基板保持在载具中，在该状态下用安设于研磨定盘的研磨垫夹住所述一对主表面，向所述一对主表面供给研磨液，同时利用所述载具的行星齿轮运动来研磨所述玻璃基板，该制造方法的特征在于，所述研磨液含有利用湿式法制造的氧化锆颗粒作为研磨磨粒。