静电致动器

摘要

实施方式的静电致动器具备：设置在基板(100)上的电极部(2)；与电极部(2)相对而设置的导电性的膜体部(3)；设置于导电性的膜体部(3)的第1周边部(3a)的、支撑膜体部(3)的多个加载部(4)；以及设置在与第1周边部(3a)相对的第2周边部(3b)的、支撑膜体部(3)的多个加载部(4)；构成为通过对电极部(2)设定预定值的电压从而电极部(2)与导电性的膜体部(3)接触或者脱离的实施方式的静电致动器，在第1周边部(3a)以及第2周边部(3b)的各个，在多个加载部(4)的各个之间，其刚性相互不同。

主权项

一种静电致动器，其特征在于，具备：设置在基板上的电极部；与所述电极部相对而设置的导电性的膜体部，所述导电性的膜体部具有长方形形状，并且具有多个长方形的孔部，并且所述孔部的长轴方向与所述导电性的膜体部的长轴方向大致正交；设置于所述导电性的膜体部的第1周边部的、支撑所述膜体部的多个第1加载部，所述多个第1加载部设置于所述导电性的膜体部的长轴方向，并且沿与所述导电性的膜体部的长轴方向大致正交的方向延伸；以及设置在与所述第1周边部相对的第2周边部的、支撑所述膜体部的多个第2加载部，所述多个第2加载部设置于所述导电性的膜体部的长轴方向，并且沿与所述导电性的膜体部的长轴方向大致正交的方向延伸；并且所述静电致动器构成为，通过对所述电极部设定预定值的电压，所述电极部与所述导电性的膜体部接触或者脱离；在所述多个第1加载部的各个之间以及在所述第2加载部的各个之间，其刚性相互不同。