一种基于碳纳米管/银/掺铝氧化锌结构的柔性电极

摘要

本发明公开了一种基于碳纳米管/银/掺铝氧化锌（AZO）结构的柔性电极及其制备方法，该柔性电极为金属基多膜系结构，从下往上依次是柔性聚对苯二甲酸乙二醇酯基板，碳纳米管薄膜层，Ag薄膜层和掺铝氧化锌薄膜层。本发明提供的柔性电极结构在保证其透过率的同时很好地改善了其导电性，并且有效改善了柔性基板弯曲（曲率半径为40mm）后阳极的导电性。本发明制备的柔性电极结构、工艺简单，与传统的薄膜制备工艺能很好兼容，同时能有效解决碳纳米管膜层自身导电能力不足、以及AZO弯曲之后导电能力衰减的问题，使柔性光电器件，比如柔性触摸屏，有机发光二极管和柔性太阳能电池有望实现实用化和量产化。

主权项

一种基于碳纳米管/银/掺铝氧化锌结构的柔性电极，其特征在于：所述的柔性电极为金属基多膜系结构，从下往上依次是柔性聚对苯二甲酸乙二醇酯基板，碳纳米管薄膜层，Ag薄膜层和掺铝氧化锌薄膜层；制备方法包括以下步骤：1）采用薄膜制备工艺在柔性基板上镀上一层碳纳米管薄膜；2）将镀上碳纳米管薄膜的柔性基板放入真空室，采用磁控溅射法在碳纳米管薄膜上镀Ag薄膜；3）再次采用磁控溅射法，在Ag薄膜上继续镀掺铝氧化锌薄膜；步骤1）所述的碳纳米管薄膜厚度为30～100nm；步骤2）所述的磁控溅射镀膜时间为30～100s，所述的Ag薄膜厚度为9～35nm；步骤3) 所述的磁控溅射镀膜时间为9~20min，所述的掺铝氧化锌薄膜厚度为100~200nm。