一种半导体微纳单晶气敏传感器测试系统

摘要

本发明涉及气敏传感器测试技术领域，具体涉及一种用于半导体微纳单晶的简单稳定可靠的测试系统。主要由IC电路板、排针、测试芯片底座、测试芯片转换座、测试腔体、与测试腔体配套的盲板和紧固件、固定支架、和外界信号输出端口，进气系统、气体流量监控及组分调控单元、尾气回收系统以及半导体电学测试系统组成。利用本发明，提供了一种对半导体微纳单晶元件进行气敏测试的方法，结构简单、方便实用、工作效率高能够满足低气压气敏测试需要。

主权项

一种半导体微纳单晶气敏传感器测试系统，其特征是结构如下：将制备好的SnO₂单晶纳米带场效应晶体管固定在芯片底座（3）上，单晶纳米带场效应晶体管的各个电极与芯片底座（3）上的电极相连；在IC电路板（1）上焊接测试芯片转换座（4）和排针（2），使测试芯片转换座(4)的各个针孔和排针(2)一一对应并且导通；IC电路板(1)固定在固定支架(7)上；外接信号输出端口(8)和排针(2)相连，外接信号输出端口(8)和固定支架(7)固定在盲板(6)上,将以上完成连接的组件密封固定在测试腔体(5)中；将测试腔体（5）的三个端口分别与气体流量监控及组分调控单元（11）外接信号输出端口（8）和尾气回收系统（12）相连接，其中所述气体流量监控及组分调控单元（11）与进气系统（10）相连接；所述外接信号输出端口（8）与半导体电学测试系统（9）相连接。