半导体制造过程的监控方法及半导体生产方法

摘要

本发明揭示了一种半导体制造过程的监控方法。半导体制造过程的监控方法包括：定义关键设备和量测设备之间的匹配关系；针对关键设备定义抽检方式，所述抽检方式与关键设备的空闲时间或连续作业批次相关；根据定义的抽检方式，对产品在匹配的量测设备上量测，如量测结果为失败，则将所述关键设备设置为不可作业状态。本发明半导体制造过程的监控方法的抽检方式可以依据实际情况灵活配置，通过对应量测站点量测结果及时反馈控制关键设备可作业状态，可实现关键设备良率和效率的最大化。本发明还揭示了根据所述半导体制造过程的监控方法进行半导体生产的方法。

主权项

一种半导体制造过程的监控方法，包括：定义关键设备和量测设备之间的匹配关系；针对关键设备定义抽检方式，所述抽检方式与关键设备的空闲时间或连续作业批次相关；根据定义的抽检方式，对产品在匹配的量测设备上量测，如量测结果为失败，则将所述关键设备设置为不可作业状态。