一种具有防锈作用的化学机械抛光液及其制备方法

摘要

本发明公开了一种具有防锈作用的化学机械抛光液，其特征在于，由下列重量份的原料制成：微米级锂辉石粉5-7、白炭黑3-4、氟磷灰石粉1-2、亚麻油酸5.5-7、烯基丁二酸酯3-4、硅酸3-5、硅微粉9-11、磺基水杨酸1-2、碳酸氢钠2-4、失水山梨醇脂肪酸酯3-5、助剂5-7、去离子水300；本发明制取的混合抛光液，安全无毒，无难闻气味，配方合理，添加烯基丁二酸酯，具有防锈的作用，添加助剂，具有良好的耐磨、分散、润滑、成膜性，在工件表面就形成一个阻隔空气层，协同缓释剂的作用，可以阻止空气腐蚀；本发明抛光液质量稳定，不易变质，适合金属抛光。

主权项

一种具有防锈作用的化学机械抛光液，其特征在于，由下列重量份的原料制成：微米级锂辉石粉5‑7、白炭黑3‑4、氟磷灰石粉1‑2、亚麻油酸5.5‑7、烯基丁二酸酯3‑4、硅酸3‑5、硅微粉9‑11、磺基水杨酸1‑2、碳酸氢钠2‑4、失水山梨醇脂肪酸酯3‑5、助剂5‑7、去离子水300；所述助剂由以下重量份的原料制成：氮化硼5‑7、碳化硅4‑6、硅酸钠1‑2、硝酸钾2‑3、苯并咪唑1‑2、丙二醇丁醚2‑3、水性丙烯酸聚氨酯共聚乳液4‑6、乙二胺四乙酸3‑5、雷米邦3‑4、阿拉伯胶2.5‑3.5、水50‑53；制备方法是首先将氮化硼、碳化硅、阿拉伯胶、雷米邦加入一半量的水中，研磨1‑2小时，然后缓慢加入其余剩余成分，缓慢加热至70℃‑80℃，在300‑500转/分条件下搅拌反应30‑50分钟，冷却至室温即得。