基于光干涉的气压分布测量方法

摘要

本发明提供一种基于光干涉的气压分布测量方法，透光板与反射面之间存在气压非均匀分布的被测气膜；该方法包括如下步骤：当波长为λ、振幅为A的单色光垂直入射至透光板后，在透光板下表面与反射平台反射面之间发生多次折射、透射与反射，通过对反射光的干涉光束进行测量和换算，获得被测气膜的折射率在一定温度范围内，根据被测气体的当地折射率与被测气体的压强之间的关系获取被测气膜的当地压强p。本发明具有测量精度较高、且能测量微小间隙内气膜压力分布和气膜内部气体压力动态变化情况下的气压，可广泛应用于微小间隙内气压检测领域。

主权项

一种基于光干涉的气压分布测量方法，其特征在于：包括如下步骤：步骤1、透光板与反射面之间的微小间隙中存在有气压非均匀分布的被测气膜，当波长为λ、振幅为A的单色光垂直入射至透光板后，在透光板下表面与反射面之间发生多次折射、透射与反射，对反射光进行干涉处理后得到的干涉光束进行测量，获得被测气膜的折射率其中，H为被测气膜厚度，δ为反射光相位总延迟，Φ_s为反射平台反射面的附加相位；k为干涉条纹级次，且k为自然数；步骤2、根据被测气膜的折射率与被测气膜的压强之间的关系：获取被测气膜的压强p；其中，n_s为15℃时一个标准大气压下被测气膜的折射率，t为被测气膜的温度，A为标准气体密度因子、1+(B‑Ct)p×10^‑8为气体压缩因子的数学表达式、D为0℃对应的开尔文温度（273.15K）的倒数。