一种全自动硅片插片机的硅片传送装置

摘要

本实用新型公开了一种全自动硅片插片机的硅片传送装置，包括有机体、主动轴、主动轴座、主动轮、从动轴、从动轴座、从动轮、传送皮管、传送电机，主动轴装于主动轴座上，主动轮装于主动轴上，从动轴装于从动轴座上，从动轮装于从动轴上，主动轮与从动轮之间通过传送皮管连接，所述的传送皮管在其传送方向的两侧各装有一护板，两护板之间的间距大于硅片边长，每块护板均通过一固定块与机体连接，所述的固定块固装于机体上，所述的护板通过调节螺栓与固定块固定，且所述护板上与所述调节螺栓相固定配合的螺栓孔为沿传送方向两侧延伸的长条形螺栓孔。采用上述结构，可有效提高硅片传送精度并防止硅片在传送过程中掉落。

主权项

一种全自动硅片插片机的硅片传送装置，包括有机体、主动轴、主动轴座、主动轮、从动轴、从动轴座、从动轮、传送皮管、传送电机，所述的主动轴座和从动轴座均固装于机体上，主动轴装于主动轴座上，主动轮装于主动轴上，从动轴装于从动轴座上，从动轮装于从动轴上，主动轮与从动轮之间通过传送皮管连接，所述的传送电机与主动轴之间通过皮带和皮带轮联动，其特征在于：所述的传送皮管在其传送方向的两侧各装有一护板，两护板之间的间距大于硅片边长，每块护板均通过一固定块与机体连接，所述的固定块固装于机体上，所述的护板通过调节螺栓与固定块固定，且所述护板上与所述调节螺栓相固定配合的螺栓孔为沿传送方向两侧延伸的长条形螺栓孔。