磁盘用玻璃基板的制造方法和磁盘的制造方法

摘要

本发明提供一种磁盘用玻璃基板的制造方法，该制造方法可以降低微小的刮痕等表面缺陷，可以在不会伴随导致研磨速率降低的情况下利用游离磨粒进行研磨加工，可以制造能够用作下一代用的基板的高品质的玻璃基板。本发明包括下述研磨工序：用表面配备有研磨垫的一对定盘夹持玻璃基板，该玻璃基板由以SiO₂作为主要成分并含有二价的碱土金属的玻璃构成，向玻璃基板与研磨垫之间供给含有研磨磨粒的研磨液，从而对玻璃基板的主表面进行研磨，在该研磨工序中，研磨磨粒为胶态二氧化硅，上述研磨液被调整为酸性范围且含有铝离子。

主权项

一种磁盘用玻璃基板的制造方法，其包括下述研磨工序：用表面配备有研磨垫的一对定盘夹持玻璃基板，向所述玻璃基板与所述研磨垫之间供给含有研磨磨粒的研磨液，从而对所述玻璃基板的主表面进行研磨，该制造方法的特征在于，构成所述玻璃基板的玻璃以SiO₂作为主要成分，并含有二价的碱土金属，所述研磨磨粒为胶态二氧化硅，所述研磨液被调整为酸性范围且含有铝离子。