钼烯丙基络合物和其于薄膜沉积中的用途

摘要

本发明提供钼络合物和其在如CVD和ALD的薄膜沉积中的用途。所述钼络合物结构上对应于式(I)和式(II)：其中R¹、R³、R⁵、R⁷、R⁸和R¹⁰在每次出现时独立地为烷基；R²、R⁶和R⁹独立地为烷基；R⁴和R¹¹在每次出现时独立地选自由烷基、烯基和炔基组成的群组；x、z、a、c、d和f独立地为0、1或2；y、b和e独立地为0或1；且n和m独立地为0到5。

主权项

一种有机金属络合物，其在结构上对应于式I：其中R¹和R³在每次出现时独立地为烷基；R²为烷基；R⁴在每次出现时独立地选自由烷基、烯基和炔基组成的群组；x和z独立地为0、1或2；y为0或1；且n为0到5；其中在n为0时，R¹或R²或R³如果存在，则为C₂‑C₈烷基；且在n为1时，R¹或R³如果存在，则为C₂‑C₈烷基。