发明名称 一种半导体装置
摘要 本发明涉及一种半导体装置,包含:衬底,包含具有第一表面的第一侧与具有第二表面的第二侧;凹陷的硅穿孔(TSV),贯穿该衬底并相对于该第一侧的该第一表面形成一第一段差;及第一突出的重分布联机(RDL),填入该第一段差并与该凹陷的硅穿孔衔合。
申请公布号 CN104134640A 申请公布日期 2014.11.05
申请号 CN201310158651.9 申请日期 2013.05.02
申请人 艾芬维顾问股份有限公司 发明人 黄昭元;何岳风;杨名声;陈辉煌
分类号 H01L23/48(2006.01)I;H01L23/485(2006.01)I 主分类号 H01L23/48(2006.01)I
代理机构 北京远大卓悦知识产权代理事务所(普通合伙) 11369 代理人 史霞
主权项 一种半导体装置,包含:衬底,包含具有第一表面的第一侧与具有第二表面的第二侧;凹陷的硅穿孔(TSV),贯穿该衬底并相对于该第一侧的该第一表面形成一第一段差;及第一突出的重分布联机(RDL),填入该第一段差并与该凹陷的硅穿孔衔合。
地址 中国台湾新竹市香山区芝柏三街52号