| 摘要 |
<p>【課題】銅配線の直線性を損なうことなくサイドエッチングを抑制できるエッチング液とその補給液、及び銅配線の形成方法を提供する。【解決手段】本発明のエッチング液は、銅のエッチング液であって、環を構成するヘテロ原子として窒素のみを有する５〜７員環の脂肪族複素環を含む脂肪族複素環式化合物と、酸と、酸化性金属イオンとを含む水溶液であり、前記脂肪族複素環式化合物は、環を構成するヘテロ原子として窒素を２つ以上有する脂肪族複素環式化合物Ａ、及びアミノ基を有する置換基で置換された脂肪族複素環式化合物Ｂから選ばれる１種以上であることを特徴とする。本発明の銅配線（１）の形成方法は、銅層のエッチングレジスト（２）で被覆されていない部分をエッチングする銅配線（１）の形成方法であって、前記本発明のエッチング液を用いてエッチングすることを特徴とする。【選択図】図１</p> |
