带电粒子束装置、试样观察系统以及操作程序

摘要

本发明为了提高初学者的带电粒子束装置的技能，特征在于，具有：显示操作画面(200)的图像显示装置，该操作画面显示电子显微镜的操作项目；存储装置，其使辅助按钮(B122)相关的信息与图像(C51)的画质对应，并且与电子显微镜的参数设定值的组合即观察条件对应地存储，其中，所述辅助按钮(B122)相关的信息显示从电子显微镜的检测器取得的图像(C51)状态相关的信息；以及操作程序，其解析从检测器取得的图像的画质，根据作为解析结果的图像的画质以及当前的观察条件，从存储装置取得辅助按钮(B122)，在操作画面(200)的预定位置显示该取得的辅助按钮(B122)。

主权项

一种带电粒子束装置，其特征在于，具有：图像显示部，其将显示带电粒子束装置的操作项目的操作画面显示在图像显示装置中；存储部，其使与从所述带电粒子束装置的检测器取得的试样的图像即试样图像的状态相关的信息即状态图像信息与所述试样图像的画质对应，并且使所述状态图像信息与所述带电粒子束装置的参数设定值的组合即观察条件对应地存储；以及处理部，其解析从所述检测器取得的所述试样图像的画质，根据作为所述解析结果的所述试样图像的画质以及当前的观察条件，从存储部取得所述状态图像信息，在所述操作画面的预定位置显示该取得的状态图像信息。