一种铝电解及微电子工业产生的碳氟化合物的分解方法

摘要

一种铝电解及微电子工业产生的碳氟化合物的分解方法，属废气处理领域。本发明按照以下步骤进行：（1）将固体金属放入一个坩埚内，通过真空系统将反应器内空气抽尽，通入保护气体氩气后进行加热，加热到预定温度；（2）当温度升至预定温度后，通过真空系统抽出保护性气体，并通入待分解的PFCs气体，密闭反应条件下进行反应，反应时间为：30～40分钟；将反应器冷却到室温后，取出反应物，坩埚内反应产物自然分层，得到可回收利用的碳和金属氟化物、氯化物。本发明实现了处理PFCs的零排放，降低了能耗和处理成本。而且整个处理流程短，过程简单，加上反应条件不是很苛刻，对反应器的要求也不是很高，这样也可以降低设备的费用。

主权项

一种铝电解及微电子工业产生的碳氟化合物的分解方法，其特征在于按照以下步骤进行：(1)将固体金属放入一个坩埚内，通过真空系统将反应器内空气抽尽，通入保护气体氩气后进行加热，加热到预定温度；(2)当温度升至预定温度后，通过真空系统抽出保护性气体，并通入待分解的PFCs气体，密闭反应条件下进行反应，反应时间为：30～40分钟；将反应器冷却到室温后，取出反应物，坩埚内反应产物自然分层，得到可回收利用的碳和金属氟化物、氯化物；其中，所述固体金属为铝、镁、钠、钙；所述预定温度，当固体金属为铝时，预定温度为700℃‑950℃；当固体金属为镁时，预定温度为660℃‑900℃；当固体金属为钠时，预定温度为120℃‑450℃；当固体金属为钙时，预定温度为860℃‑1000℃。