发明名称 |
发光二极管芯片制造方法 |
摘要 |
一种发光二极管芯片制造方法,包括步骤:1)提供硅基板,该硅基板具有通过多个沟槽分隔开的多个磊晶层,每一沟槽底部具有阻隔层;2)在沟槽内填充绝缘材料;3)在磊晶层及绝缘材料顶面形成连续的金属结构;4)去除硅基板、阻隔层及绝缘材料;5)在各磊晶层底面及金属结构顶面形成相应的电极;6)沿沟槽切割金属结构而形成多个独立的发光二极管芯片。该制造方法可提升发光二极管芯片的光输出效率,且可加快发光二极管芯片的散热。 |
申请公布号 |
CN102456778B |
申请公布日期 |
2014.11.05 |
申请号 |
CN201010519376.5 |
申请日期 |
2010.10.26 |
申请人 |
展晶科技(深圳)有限公司;荣创能源科技股份有限公司 |
发明人 |
黄世晟;凃博闵;杨顺贵;黄嘉宏 |
分类号 |
H01L33/00(2010.01)I;H01L33/46(2010.01)I;H01L33/62(2010.01)I |
主分类号 |
H01L33/00(2010.01)I |
代理机构 |
深圳市鼎言知识产权代理有限公司 44311 |
代理人 |
孔丽霞 |
主权项 |
一种发光二极管芯片制造方法,包括步骤:1)提供硅基板,该硅基板具有通过多个沟槽分隔开的多个磊晶层,每一沟槽底部具有用于阻挡磊晶层生长的阻隔层;2)在沟槽内填充绝缘材料;3)在磊晶层及绝缘材料顶面形成连续的金属结构;4)去除硅基板、阻隔层及绝缘材料;5)在各磊晶层底面及金属结构顶面形成相应的电极;6)沿沟槽切割金属结构而形成多个独立的发光二极管芯片。 |
地址 |
518109 广东省深圳市宝安区龙华街道办油松第十工业区东环二路二号 |