流体探针

摘要

本发明描述了一种用于测量流体性质的流体探针，制造方法以及操作方法。所述装置包括主体区，第一挠性元件和第二挠性元件。每一个挠性元件具有第一末端和第二末端，所述第一末端固定地位于主体区上。每一个挠性元件可以通过该元件的弯曲而从至少第一相应构造运动到第二相应构造。所述第一挠性元件包括配置用于使挠性元件在第一构造和第二构造之间运动的驱动部。所述第二挠性元件包括用于传感挠性元件的运动的集成运动传感器。在远离所述主体区的位置，将所述第一挠性元件联接到所述第二挠性元件。仅所述第一挠性元件的驱动部是可操作的以使所述第一和第二挠性元件运动。

主权项

一种用于检测流体性质的微装置，所述微装置包括：主体区；第一挠性元件和第二挠性元件，每一个挠性元件具有第一末端和第二末端，所述第一末端固定地位于所述主体区上，并且每一个挠性元件能够通过该挠性元件的弯曲而从至少第一相应构造运动到第二相应构造；所述第一挠性元件包括配置用于使该第一挠性元件在所述第一构造和所述第二构造之间运动的驱动部；所述第二挠性元件包括用于传感该第二挠性元件的运动的集成运动传感器，并且其中，在远离所述主体区的位置，将所述第一挠性元件联接到所述第二挠性元件，并且仅所述第一挠性元件的驱动部是可操作的以使所述第一挠性元件和第二挠性元件运动；其中，将所述第一挠性元件的驱动部配置成通过磁力驱动或使用压电材料电驱动。