主权项 |
一种真空中非金属材料质量损失的原位监测方法,其特征在于:所述方法使用一种真空中非金属材料质量损失的原位监测系统,所述系统包括:主真空室(1)、连杆(2)、抽气装置(3)、副真空室(4)、高真空插板阀(5)、样品舟(6)、石英晶体微量天平(7)、低温冷沉(8); 其中,主真空室(1)为圆柱体结构;在主真空室(1)内壁的顶部和四周位置分别设有低温冷沉(8),石英晶体微量天平(7)固定在主真空室(1)顶部的低温冷沉(8)上;样品舟(6)放置在主真空室(1)底面上,与石英晶体微量天平(7)相对放置; 主真空室(1)和副真空室(4)之间通过管路和高真空插板阀(5)连接; 连杆(2)与主真空室(1)和高真空插板阀(5)相通;连杆(2)一端位于副真空室(4)内,另一端露出副真空室(4),连杆(2)的长度大于样品舟(6)到副真空室(4)的距离;所述样品舟(6)、高真空插板阀(5)、连杆(2)位于一条直线上; 抽气装置(3)分别与主真空室(1)和副真空室(4)连接; 所述方法步骤如下: 步骤一、将石英晶体微量天平(7)温度设为≤‑180℃,设定低温冷沉(8)的温度≤石英晶体微量天平(7)的温度,向副真空室(4)内通入氮气; 步骤二、将试样称重后放入样品舟(6)中,将样品舟(6)装入副真空室(4)后关闭副真空室(4),切断氮气,开启抽气装置(3),至主真空室(1)内的压强≤7×10<sup>‑3</sup>Pa,副真空室(4)内的压强≤5×10<sup>‑3</sup>Pa; 步骤三、开启高真空插板阀(5),推动连杆(2),将样品舟(6)移入主真空室(1)中石英晶体微量天平(7)的正下方,关闭高真空插板阀(5); 步骤四、将试样加热至试样的出气温度,每隔设定时间记录一次石英晶体微量天平(7)的频率变化Δf和温度T; 步骤五、计算试样的总质量损失m<sub>t</sub>,计算方法如下: m<sub>t</sub>=F·Ks·Δf 式中: Ks——所用的石英晶体微量天平(7)在凝结温度下的质量测量灵敏度,单位为g/cm<sup>2</sup>·Hz; F——石英晶体微量天平(7)对出气孔的视角因子,在本发明所采用的几何关 系下,F=353.50cm<sup>2</sup>。 |