一种带有柔性杠杆的MEMS谐振式电荷传感器

摘要

本实用新型公开了一种带有柔性杠杆的MEMS谐振式电荷传感器。它包括锚点、双端固定音叉谐振单元、驱动电极、感应电极、两个柔性杠杆、电荷输入端，双端固定音叉谐振单元的一端与锚点相连，另一端与两个柔性杠杆相连，所述的柔性杠杆包括相互连接的柔性杠杆支点、柔性杠杆输入端、柔性杠杆输出端，双端固定音叉谐振单元与驱动电极、感应电极相耦合，柔性杠杆与电荷输入端相耦合。采用双端固定音叉作为谐振单元，谐振时的能量损失小；通过柔性杠杆放大由输入电荷引起的静电力，增大谐振频率的改变量，得到较高的分辨率，能够测得微小的电荷量；器件的结构简单，可以在室温环境下工作，易于实现批量生产。

主权项

一种带有柔性杠杆的MEMS谐振式电荷传感器，其特征在于包括锚点（1）、双端固定音叉谐振单元（2）、驱动电极（3）、感应电极（4）、两个柔性杠杆、电荷输入端（8），双端固定音叉谐振单元（2）的一端与锚点（1）相连，另一端与两个柔性杠杆相连，所述的柔性杠杆包括相互连接的柔性杠杆支点（5）、柔性杠杆输入端（6）、柔性杠杆输出端（7），双端固定音叉谐振单元（2）与驱动电极（3）、感应电极（4）相耦合，柔性杠杆与电荷输入端（8）相耦合。