发明名称 有机发光二极管显示器的制造方法及等离子工艺方法
摘要 公开有机发光二极管显示器的制造方法及等离子体工艺方法。所述有机发光二极管(OLED)显示器的制造方法包括:制造母基板,该母基板包括对于各个像素形成有多个阳极的多个面板以及连接到面板的各个阳极的测试焊盘。该方法进一步包括将母基板加载到等离子体室中,并对母基板的测试焊盘施加等离子体电压,以进行等离子体表面处理工艺。对于各个像素,测试焊盘被施加不同的等离子体电压。
申请公布号 CN104134759A 申请公布日期 2014.11.05
申请号 CN201310498653.2 申请日期 2013.10.22
申请人 三星显示有限公司 发明人 李宰瑛
分类号 H01L51/56(2006.01)I;H01L21/66(2006.01)I;C23C14/48(2006.01)I 主分类号 H01L51/56(2006.01)I
代理机构 北京德琦知识产权代理有限公司 11018 代理人 于未茗;康泉
主权项 一种有机发光二极管显示器的制造方法,包括:形成母基板,该母基板包括:多个面板,每个面板形成有多个阳极,每个阳极对应于多个像素之一;和连接到所述面板的各个阳极的测试焊盘;和对所述测试焊盘施加等离子体电压,以进行等离子体表面处理工艺,其中对所述测试焊盘施加等离子体电压包括对于所述多个像素中的第一像素施加第一等离子体电压和对于所述多个像素中的第二像素施加第二等离子体电压,并且其中所述第一等离子体电压不同于所述第二等离子体电压。
地址 韩国京畿道