电灼方法和设备

摘要

公开了一种用于电极的自动或用户选择操作或补偿的电极结构和机制，例如确定组织覆盖和/或防止在电灼过程中在底部电极之间的电弧放电。

主权项

一种电灼装置，包括：电极结构，所述电极结构包括第一表面和第二表面，所述第一电极表面具有形成第一电极阵列的多个相邻的第一电极，所述第二电极表面包括与所述第一电极相同或不同数量的多个第二电极；其中在执行电灼过程中，所述第一电极表面和所述第二电极表面基本上平行，并且一个电极表面的每个电极对准其在另一电极表面内的配对电极，具有与第一电极和所述多个第二电极电耦合的输出的电源；用于选择性地将来自电源的电压施加在两个或多个电极之间的装置，所述两个或多个电极为第一电极阵列之中的任意电极与所述多个第二电极之中的任意电极；和用于确定所述第一电极中的任意电极与所述多个第二电极之中的至少一个的组织覆盖面积的装置，所述电源包括：射频生成器，其选择性地可由所述用于选择性地施加来自电源的电压的装置操作，以电感的形式插入共轭阻抗，从而消除使用全覆盖电极的容抗，并允许测量射频电压和电流的相位角度；其中当电极仅被部分覆盖时，电容改变；和其中作为结果，电抗和射频电压和电流的相位角度改变。