发明名称 |
一种C包覆HfC晶须的制备方法 |
摘要 |
本发明属于材料制备方法,具体涉及一种C包覆HfC晶须的制备方法,技术特征在于:不采用催化剂制备C包覆HfC晶须,采用HfCl<sub>4</sub>-C<sub>3</sub>H<sub>6</sub>-H<sub>2</sub>-Ar体系沉积HfC-C晶须。本发明的有益效果:不采用催化剂制备C包覆HfC晶须,而且设备简单易于操作。另外采取一步法制备,可以减少杂质的引入。以此制备的同轴电缆结构HfC-C晶须,有望改善增强体的界面结合,以提高HfC晶须的增强效果。 |
申请公布号 |
CN102965638B |
申请公布日期 |
2014.11.05 |
申请号 |
CN201210469672.8 |
申请日期 |
2012.11.19 |
申请人 |
西北工业大学 |
发明人 |
王永杰;李贺军;付前刚;吴恒;姚栋嘉 |
分类号 |
C23C16/26(2006.01)I;C22C49/14(2006.01)I;C22C101/12(2006.01)N;C22C121/02(2006.01)N |
主分类号 |
C23C16/26(2006.01)I |
代理机构 |
西北工业大学专利中心 61204 |
代理人 |
王鲜凯 |
主权项 |
一种C包覆HfC晶须的制备方法,其特征在于步骤如下:步骤1:将片状碳/碳复合材料打磨抛光后用无水乙醇清洗,放入烘箱中80~100℃烘干;步骤2:将步骤1得到的碳/碳复合材料,放置在距离C<sub>3</sub>H<sub>6</sub>气体进口80‑85cm之处,同时10‑50g的HfCl<sub>4</sub>粉末放入卧式化学气相沉积炉低温区,抽真空至‑0.1MPa,之后保真空30分钟通入氩气至常压;步骤3:然后以5℃/min的升温速度将高温区升至1000‑1200℃,在高温区到温前30min,开始以10℃/min的升温速度对低温区加热升至280~320℃;步骤4:双温区均到温后沉积开始,且H<sub>2</sub>气以200~400mL/min、C<sub>3</sub>H<sub>6</sub>气以30‑50mL/min、Ar气以100‑200mL/min通入;然后每20min,以20mL/min的速度调节的C<sub>3</sub>H<sub>6</sub>流量,时间为1h,压力0.1MPa。 |
地址 |
710072 陕西省西安市友谊西路127号 |