摘要 |
<p>【課題】サンプルガスが微量な場合であっても、正確な分析ができるガス分析装置を提供する。【解決手段】内部をサンプルガスが流れるガス導入管1と、ガス導入管の下流端に接続された分析計2と、ガス導入管の途中に分岐接続された排気管3と、ガス導入管における排気管との接続部の下流側に設けられた圧力抵抗器5と、排気管の途中に設けられた圧力制御弁6と、排気管における圧力制御弁の上流側に分岐接続され、排気管に補充ガスを供給する補充ガス供給管7と、補充ガス供給管に接続された補充ガス供給源8とを備える。【選択図】図1</p> |