一种单晶炉副室炉筒内壁除尘装置

摘要

本实用新型涉及单晶炉清洁技术领域，具体为一种单晶炉副室炉筒内壁除尘装置。本实用新型通过在清洁材料下层添加弹性材料，增加清洁材料的柔性，实现所述清洁材料与炉筒内壁的软性接触，减少清洁除尘操作中因操作不当导致的清洁装置对炉筒内壁造成的划伤；通过采用支杆铰接结构设计，所述单晶炉副室炉筒内壁除尘装置可适应多种内径尺寸的炉筒的清洁需求；通过采用多弧形刷结构设计，所述单晶炉副室炉筒内壁除尘装置增大了清洁材料与炉筒内壁的接触面积，提高清洁效率。

主权项

一种单晶炉副室炉筒内壁除尘装置，其特征在于，所述单晶炉副室炉筒内壁除尘装置包括：多个支杆(1)、多个弧形刷(2)、多个推杆(3)、套筒(4)和操作杆(5)；所述支杆(1)、弧形刷(2)和推杆(3)数量相同；所述多个支杆(1)的数量至少为四个；所述操作杆(5)顶端设置有铰接盘a(6)；所述支杆(1)相对所述铰接盘a(6)的圆心按角度均匀分布在所述铰接盘a(6)的外圆周；多个所述支杆(1)一端与所述铰接盘a(6)活动铰接；所述支杆(1)杆体均布多个贯通的铰接孔；所述套筒(4)套在所述操作杆(5)上；所述套筒(4)设置有贯通的紧固螺纹孔；所述紧固螺纹孔装配有锁紧螺栓；所述套筒(4)中部设置有铰接盘b(7)；所述推杆(3)相对所述铰接盘b(7)的圆心按角度均匀分布在所述铰接盘b(7)的外圆周；多个所述推杆(3)的一端与所述铰接盘b(7)活动铰接；所述推杆(3)另一端与相应的所述支杆(1)上的多个铰接孔中的一个铰接孔通过可拆卸螺栓活动铰接；所述弧形刷(2)紧固在所述支杆(1)的另一端；所述弧形刷(2)曲率半径为100mm。