溅镀设备;SPUTTERING APPARATUS

摘要

用于旋转靶阴极的磁控组件包括：刚性支撑结构；磁棒结构，其可移动的附接到刚性支撑结构；以及至少一致动构件，其耦合于刚性支撑结构，并且建构成改变磁棒结构与可旋转的靶圆柱之表面的距离。磁控组件也包括位置指示构件，其操作成测量磁棒结构相对于可旋转的靶圆柱之表面的位置。通讯装置系建构成接收来自磁控组件的外面的命令讯号，并且传送资讯讯号到磁控组件的外面。