用于机械工具装置之类比量测探针

摘要

一种用于机械工具装置之类比探针，其包含一探针主体及可移动地紧固至探针主体且经由一悬挂机构而处于悬挂静置位置的触针部件。提供一感测器用于量测该触针部件相对于探针主体自静置位置之位移的程度。该类比探针进一步包含一第一柔性密封部件，其在探针主体与触针部件之间延伸以使得感测器容纳于经密封以防外部污染物之腔室内。该类比探针亦具有一抑制器，其用于抑制触针部件远离其悬挂静置位置之移动，该移动系藉由腔室之内部气压的改变及/或类比探针之操作环境的改变而引发。

主权项

一种用于一机械工具装置之类比探针，其包含：一探针主体；一触针部件，其可移动地紧固至该探针主体且经由一悬挂机构处于一悬挂静置位置；一感测器，其用于量测该触针部件相对于该探针主体自一静置位置之位移的程度；一第一柔性密封部件，其在该探针主体与该触针部件之间延伸以使得该感测器容纳于一经密封以防外部污染物之腔室内；及用于抑制该触针部件远离其悬挂静置位置之移动的构件，该移动系藉由该腔室之内部气压的改变及/或该类比探针之操作环境的改变而引发。