研磨垫

摘要

本发明以提供研磨垫及其制造方法为目的，该研磨垫于吸湿环境下难以吸水劣化、研磨特性与寿命特性优异，且研磨速度大。本发明研磨垫具有研磨层，该研磨层由具有细微气泡的聚胺甲酸酯发泡体所构成，其中前述聚胺甲酸酯发泡体为异氰酸酯末端预聚物与链延长剂的反应硬化物，前述异氰酸酯末端预聚物系使含有异氰酸酯成分、高分子量多元醇及脂肪族二醇的预聚物原料组成物反应而得者，前述高分子量多元醇包含在200~300之范围具有分子量分布之峰值的聚伸烷基二醇A、及在800~1200之范围具有分子量分布之峰值的聚伸烷基二醇B。