静电式夹具

摘要

一种静电式夹具，包含一夹持本体、一电极，及一烧结成型且具结晶相组织的陶瓷管。该夹持本体包括一基材、一叠置在该基材之一顶面且供该电极埋置的静电吸附层，及一贯穿该基材与该静电吸附层的气体通道；该气体通道具有一贯穿该静电吸附层且延伸入该基材中的上段部，及一自该上段部之一底端延伸至该基材之一底面的下段部。该陶瓷管是能拆装地塞置在该下段部中，该陶瓷管与该下段部的长度比值介于0.25至1之间。藉以，能有效抑制该下段部处发生电弧放电现象，同时便于后续维护作业进行，确保整体维持良好的静电吸附夹持效果。

主权项

一种静电式夹具，包含：一夹持本体，包括一基材、一叠置在该基材之一顶面的静电吸附层，以及一贯穿该基材与该静电吸附层的气体通道，该气体通道具有一贯穿该静电吸附层且延伸入该基材中的上段部，以及一自该上段部之一底端延伸至该基材之一底面的下段部；一电极，是设置在该静电吸附层中；一烧结成型并具结晶相组织的陶瓷管，是能拆装地塞置在该气体通道之下段部中，其与该下段部的长度比值是介于0.25至1之间，且其介电强度是大于该静电吸附层之介电强度；以及一陶瓷块，设置在该基材中且夹置在该静电吸附层与该陶瓷管之间的，该陶瓷块是环围设置在该上段部之一底部，该陶瓷块的介电强度是大于该静电吸附层的介电强度。