侦测处理设备闲置模式之方法及装置

摘要

在本文中提供侦测处理设备之一闲置模式的方法及装置。在一些实施例中，一种监视一处理系统之装置可包括一第一系统配接器，其用于监视一第一制程腔室及确定其一状态；及一第一支援配接器，其用于与耦接至该第一制程腔室之该第一系统配接器及一第一支援系统通信，该支援配接器设以回应于处于一闲置模式的该第一制程腔室之该状态而将一在一低功率模式下操作该第一支援系统之预备状态传达至该支援系统之一控制器。

主权项

一种用于监视一基板处理系统之装置，其包含：一第一系统配接器，其用于监视一第一制程腔室及确定该第一制程腔室的一状态；及一第一支援配接器，其用于与该第一系统配接器及耦接至该第一制程腔室之一第一支援系统通信，该支援配接器设以回应处于一闲置模式的该制程腔室之该状态，而将在一低功率模式下操作该支援系统之一预备状态传达至该支援系统之一控制器；其中该第一系统配接器设以藉由在一所要频率下将一周期信号发送至该第一支援配接器，且藉由将一讯息发送至该第一支援配接器，而将该第一制程腔室之该状态传达至该第一支援配接器；并且其中该第一支援配接器设以藉由在该所要频率下将该周期信号再传输至该第一支援配接器，且藉由将该讯息再传输至该第一支援配接器，而将在该低功率模式下操作该第一支援系统之该预备状态传达至该第一系统配接器。