整合结构;AN INTEGRATED STRUCTURE

摘要

提供一种整合结构,包含:基板,具有第一介电层与第二介电盖层依序设置于其上;金属闸极电晶体,具有设置于该基板上的高介电常数闸极介电层、嵌于该第一介电层之内的闸电极以及位于该基板内的源极/汲极;第一金属接触栓,贯穿该第一介电层且与该源极/汲极直接接触;及贯穿矽通孔,贯穿该第二介电盖层、该第一介电层与该基板。