发明名称 |
定向之自组装共聚物组成物及相关方法;A DIRECTED SELF ASSEMBLY COPOLYMER COMPOSITION AND RELATED METHODS |
摘要 |
本发明提供一种共聚物,其组成物包括具有聚(苯乙烯)嵌段及聚(丙烯酸矽烷基酯)嵌段的嵌段共聚物;其中该嵌段共聚物具有1至1,000公斤/莫耳之数目平均分子量MN;及其中该嵌段共聚物具有1至2的多分散度PD。也提供使用经该共聚物组成物处理的基板。 |
申请公布号 |
TW201441293 |
申请公布日期 |
2014.11.01 |
申请号 |
TW103102903 |
申请日期 |
2014.01.27 |
申请人 |
罗门哈斯电子材料有限公司 |
发明人 |
崔夫纳斯 彼得;赫斯塔德 菲利普;顾歆宇;佛格 艾瑞;吉伯格 菲勒瑞;张诗玮;摩瑞 丹尼尔 |
分类号 |
C08L53/00(2006.01);C08F212/08(2006.01);C08F290/14(2006.01);C08G77/20(2006.01);C08K5/00(2006.01);C08J7/00(2006.01) |
主分类号 |
C08L53/00(2006.01) |
代理机构 |
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代理人 |
<name>洪武雄</name><name>陈昭诚</name> |
主权项 |
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地址 |
美国 |