发明名称 定向之自组装共聚物组成物及相关方法;A DIRECTED SELF ASSEMBLY COPOLYMER COMPOSITION AND RELATED METHODS
摘要 本发明提供一种共聚物,其组成物包括具有聚(苯乙烯)嵌段及聚(丙烯酸矽烷基酯)嵌段的嵌段共聚物;其中该嵌段共聚物具有1至1,000公斤/莫耳之数目平均分子量MN;及其中该嵌段共聚物具有1至2的多分散度PD。也提供使用经该共聚物组成物处理的基板。
申请公布号 TW201441293 申请公布日期 2014.11.01
申请号 TW103102903 申请日期 2014.01.27
申请人 罗门哈斯电子材料有限公司 发明人 崔夫纳斯 彼得;赫斯塔德 菲利普;顾歆宇;佛格 艾瑞;吉伯格 菲勒瑞;张诗玮;摩瑞 丹尼尔
分类号 C08L53/00(2006.01);C08F212/08(2006.01);C08F290/14(2006.01);C08G77/20(2006.01);C08K5/00(2006.01);C08J7/00(2006.01) 主分类号 C08L53/00(2006.01)
代理机构 代理人 <name>洪武雄</name><name>陈昭诚</name>
主权项
地址 美国