发明名称 片材之热处理方法及片材之热处理装置
摘要 本发明为一种片材之热处理方法,系于热处理炉内藉复数之搬送辊支持、搬送片材者,此等复数之搬送辊中之至少1者系满足下述(a)、(b)及(c)。(a)与片材接触之部分的十点平均粗度为大于20m且未满60m。(b)与片材接触之部分系由与水之接触角为100以上之材质所构成。(c)该辊、该辊之片材搬送方向上游侧之一搬送辊、及该辊之片材搬送方向下游侧之一搬送辊,系与片材之相同侧之面进行接触。藉由本发明,可提供片材不黏着于搬送辊、可依较高温度对片材进行热处理的片材之热处理方法。
申请公布号 TW201441572 申请公布日期 2014.11.01
申请号 TW103102914 申请日期 2014.01.27
申请人 东丽股份有限公司 发明人 内藤展宽;一宫崇;冈善之
分类号 F27B9/24(2006.01);B65G39/10(2006.01);H01L21/324(2006.01) 主分类号 F27B9/24(2006.01)
代理机构 代理人 <name>赖经臣</name><name>宿希成</name>
主权项
地址 日本