显示面板及其制作方法

摘要

本发明提供一种显示面板之制作方法，包括：提供一基板，包括一主动区和一画素区；形成一第一金属层，于基板上；形成一闸极介电层于第一金属层上；形成一氧化物半导体层于主动区和画素区上方之闸极介电层上；对画素区上方氧化物半导体层进行一处理步骤，使其具备导电性，其中主动区上之半导体层系用作一主动层，画素区上方之处理过之氧化物半导体层系用作一画素电极；及形成一第二金属层，连接主动层和画素电极。

主权项

一种显示面板之制作方法，包括：提供一基板，包括一主动区和一画素区；形成一第一金属层于该基板上；形成一闸极介电层于该第一金属层上；分别形成一氧化物半导体层于该主动区和该画素区上方之该闸极介电层上；形成一蚀刻停止层于该主动区上方之该氧化物半导体层上，其中该蚀刻停止层包括至少一开口；形成一第二金属层，连接该主动区和该画素区上方之该氧化物半导体层；沉积一保护层于该基板之该主动区上方之该第二金属层、该蚀刻停止层和该闸极介电层上，暴露该基板之该画素区上方之该氧化物半导体层；及对该画素区上方之该氧化物半导体层进行一电浆处理步骤，使其具备导电性，其中该主动区上之该氧化物半导体层系用作一主动层，该画素区上方之处理过之该氧化物半导体层系用作一画素电极。