| 发明名称 |
降低静电放电之设备及方法 |
| 摘要 |
本发明提供一种适于一用以测试或处理基材之系统的基材支撑件单元。该基材支撑件单元包含：一支撑件台桌，该支撑件台桌具有至少一基材承载件结构，该基材承载件结构适于支撑一基材，该基材承载件结构相对于接地端为电气浮置。 |
| 申请公布号 |
TWI459503 |
申请公布日期 |
2014.11.01 |
| 申请号 |
TW100116197 |
申请日期 |
2011.05.09 |
| 申请人 |
应用材料股份有限公司 美国 |
发明人 |
慕艾勒伯哈德刚特 |
| 分类号 |
H01L21/683;H01L21/027 |
主分类号 |
H01L21/683 |
| 代理机构 |
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代理人 |
蔡坤财 台北市中山区松江路148号11楼;李世章 台北市中山区松江路148号11楼 |
| 主权项 |
一种适于一用以测试或处理一基材之系统的基材支撑件单元，该基材支撑件单元包含：一支撑件台桌，该支撑件台桌包含至少一基材承载件结构，该基材承载件结构适于支撑一基材，该基材承载件结构系电气浮置；及一开关单元，该开关单元适于将该基材承载件结构与接地端电连接，其中该开关单元系设以在将该基材从该基材承载件结构卸载之后将该基材承载件结构与接地端电连接。 |
| 地址 |
美国 |
