用于气体放电源之电极装置、气体放电源及其操作方法

摘要

本发明系关于一种用于气体放电源之电极装置(1、2)以及系关于一种具有该等电极装置(1、2)之一或二者的气体放电源。该等电极装置(1、2)具有可在一旋转方向上围绕一旋转轴(22)旋转的一电极轮(7)，该电极轮(7)具有二个侧表面(25)之间的一外圆周表面(24)。提供一电极轮盖(8)，其覆盖该外圆周表面(24)之一部分以及该电极轮(7)之该等侧表面(25)。该盖(8)经设计用以在圆周方向上该盖(8)、该外圆周表面(24)与该等侧表面(25)部分之径向外部分之间形成一冷却通道(12)，并且在圆周方向上在该冷却通道(12)之延伸部分中于该盖(8)与该外圆周表面(24)之间形成一间隙(23)。该间隙(23)具有小于该冷却通道(12)的流动断面而且在该电极轮(7)旋转期间限制形成于该外圆周表面(24)上的液体材料膜之厚度。作为该间隙(23)之替代方式，该盖(8)可经设计用以抑制从流经该冷却通道(12)的液体材料形成此膜。该冷却通道(12)同时允许藉由透过该冷却通道(12)循环之液体材料来冷却该电极轮(7)。采用该盖(8)之建议设计，达成该电极轮(7)之有效率冷却，从而允许高电功率操作为具有此一电极装置的气体放电源。

主权项

一种用于气体放电源之电极装置，其至少包括：一电极轮，其可在一旋转方向上围绕一旋转轴旋转，该电极轮具有二个侧表面之间的一外圆周表面，以及一电极轮盖，其覆盖该外圆周表面及该等侧表面之一部分，该轮盖经设计用以在一圆周方向上于该轮盖、该外圆周表面与该等侧表面之一径向外部分之间形成一冷却通道，该冷却通道包括该盖中的一进口开口及一出口开口，从而允许一液体材料流通过该冷却通道用以藉由该液体材料冷却该电极轮，其中该轮盖经进一步设计用以在圆周方向上该冷却通道之延伸部分中于该轮盖与该外圆周表面之间形成一间隙，该间隙具有小于该冷却通道的流动断面而且在该电极轮旋转期间限制形成于该外圆周表面上的该液体材料之一膜的厚度，或抑制从流经该冷却通道的该液体材料在圆周方向上该冷却通道之延伸部分中于该外圆周表面上的该液体材料之一膜之形成。