于光学量测中提供照明之系统;SYSTEMS FOR PROVIDING ILLUMINATION IN OPTICAL METROLOGY

摘要

本发明系针对用于提供照明至用于光学量测之一测量头之系统。在本发明之某些实施例中,来自复数个照明源之照明光束经组合以将处于一或多个选定波长之照明递送至该测量头。在本发明之某些实施例中,递送至该测量头之照明的强度及/或空间相干性经控制。在本发明之某些实施例中,处于一或多个选定波长之照明系递送自经组态用于提供处于一连续波长范围之照明之一宽频照明源。