可切换量测镜之多重干涉位移量测装置;MULTI-INTERFEROMETRIC DISPLACEMENT MEASUREMENT SYSTEM WITH ALTERNATIVE MEASUREMENT MIRRORS

摘要

一种可切换量测镜之多重干涉位移量测装置,设有一光源模组、一感测头模组、一待测模组、一讯号处理模组及一显示模组,该感测头模组接收该光源模组的光源且设有一光纤耦合器、一分光镜、一偏振分光镜、一镀膜玻璃平板、一相位延迟片、两光强度检测器及一前级放大器,该待测模组反射该感测头模组的光束且设有一量测镜,该讯号处理模组与该感测头测模组连接且设有一后级放大器及一讯号处理器,该显示模组与该讯号处理模组相连接,藉以提供一方便架设、可抗环境干扰及镜面倾角且可提高量测范围之位移量测装置。