| 摘要 |
本发明系揭露一用于控制在一雷射生成式电浆(LPP)极紫外(EUV)光系统中的种子雷射之方法及装备。在一实施例中,一种子雷射系产生预雷射及主雷射,其被放大且辐照一靶材料。主脉冲的宽度系例如藉由使用一EOM或其他光学开关作调整,而不需调整预脉冲的宽度,以使EUV输出能量保持在一所欲位准。只有若主脉冲宽度比起一所欲范围更长或更短,雷射放大器的任务循环方作调整,以使主脉冲宽度保持在所欲范围中。在调整泵RF任务循环之前利用此方式调整主脉冲宽度,系容许任务循环作较少调整,因此造成对于预脉冲之较少调整。 |
