| 发明名称 |
气体歧管、用于微影装置之模组、微影装置及元件制造方法 |
| 摘要 |
本发明揭示一种用以将一气流引导于一微影装置之一光学组件之至少两个平行板之间的气体歧管，该气体歧管具有：一入口，其用以将一气流提供至该气体歧管；一网格，其包含复数个通孔以均质化该气流；一收缩器，其系在该网格下游以缩减该气流流动通过之横截面面积；及一出口，其系在该收缩器下游以将该气流提供至该至少两个平行板。 |
| 申请公布号 |
TWI459154 |
申请公布日期 |
2014.11.01 |
| 申请号 |
TW101105490 |
申请日期 |
2012.02.20 |
| 申请人 |
ＡＳＭＬ荷兰公司 荷兰 |
发明人 |
凡 波克特 法兰克 乔汉斯 贾柏斯;戴鲍尔 彼得;凡 德 史丁 安东尼斯 阿诺德斯 汉瑞克斯;卡德维 罗宾 伯纳德斯 乔纳斯 |
| 分类号 |
G03F7/20;H01L21/027 |
主分类号 |
G03F7/20 |
| 代理机构 |
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代理人 |
林嘉兴 台北市松山区敦化北路201号7楼 |
| 主权项 |
一种用以将一气流引导于一微影装置之一光学组件之至少两个平行板之间的气体歧管，该气体歧管包含：一入口，其用以将一气流提供至该气体歧管；一蜂房式流动整直器(honeycomb flow straightener)，其系在该入口下游以整直该气流；一网格(lattice)，其包含金属且包含复数个通孔以均质化(homogenize)该气流；一收缩器，其系在该网格下游，该收缩器系经组态以在沿该气流流动之一方向上缩减其横截面面积；及一出口，其系在该收缩器下游以将该气流提供至该至少两个平行板。 |
| 地址 |
荷兰 |
