基板支撑构件以及具有该构件的基板处理装置;SUBSTRATE SUPPORT AND SUBSTRATE TREATING APPARATUS HAVING THE SAME

摘要

所提供的是基板支撑构件及具有所述基板支撑构件的基板处理装置。基板支撑构件包括内直径大于基板的直径的环形的环单元,多个凸出部从环单元的内部表面向内凸出,所述多个凸出部互相间隔开,多个支撑钉分别配置于凸出部部分以面向基板的底表面的边缘,所述多个支撑钉暴露于凸出部的上侧,且多个导钉分别配置于基板侧表面的外面的凸出部。此基板支撑构件及具有基板支撑构件的基板处理装置可防止基板的热流失发生,且所述基板支撑构件易于拆卸与维修。