保护膜形成用膜

摘要

[课题]提供一种与晶片的接着强度优异之保护膜形成用膜,在将暂时固定于支撑体之该保护膜形成用膜硬化后,能够容易地从支撑体剥离。[解决手段]提供一种保护膜形成用膜,其系具有第1表面及第2表面之硬化性保护膜形成用膜,在硬化后之第1表面对矽晶圆之接着力,系比在硬化后之第2表面对矽晶圆之接着力更高。