用于控制设备工程系统之良率预测反馈之方法、系统、及记录相关指令的非暂态电脑可读取媒体

摘要

一种良率预测由一排程及分派控制器接收，其中该良率预测系有关于一制造工具和一产品。基于该良率预测在一路由演算法中调整该制造工具的一权重。计算一成本-利润分析，其确定在该制造工具上制造将来产品的成本和利润；以及基于该成本-利润分析，决定是否在该制造工具上处理一将来产品。

主权项

一种由电脑实施之方法，该方法包括以下步骤：由一排程及分派控制器接收一良率预测(yield prediction)及一良率预测可信度(yield prediction confidence)，其中该良率预测系有关于一制造工具和一产品，且该良率预测可信度系有关于该良率预测；基于该良率预测及该良率预测可信度，在一路由(routing)演算法中调整该制造工具的一加权(weighting)；计算一成本-利润分析，该成本-利润分析识别在该制造工具上制造将来产品的一成本和一利润；以及基于该成本-利润分析，决定是否在该制造工具上处理一将来产品。