液浸构件、液浸曝光装置、液浸曝光方法、以及元件制造方法

摘要

液体回收系统,系用于液浸曝光装置。液体回收系统,具备:第1开口部;与第1开口部对向之物体上之液体能透过第1开口部流入的空隙部;透过多孔构件吸引流入空隙部之液体至少一部分的液体回收部;以及异于第1开口部的第2开口部;空隙部系透过该第2开口部而开放至大气。