消泡剂、界面活性剂组成物、涂料组成物及光阻组成物;DEFORMER, SURFACTANT COMPOSITION, COATING COMPOSITION, AND RESIST COMPOSITION

摘要

本发明的目的系提供一种消泡剂、含消泡剂之界面活性剂组成物、涂料组成物及光阻组成物，该消泡剂不会对于表面平滑性造成不良影响，可以大幅度地改善其消泡性。本发明系提供一种消泡剂、界面活性剂组成物、涂料组成物及光阻组成物，该消泡剂之特征系在1莫耳的1分子中具有k个(在此，k为2以上)之(甲基)丙烯醯基之化合物(a1)，麦可加成(Michael addition)2~k莫耳的具有氟化烷基和活性氢之化合物(a2)而得到，该界面活性剂组成物系包含该消泡剂和氟系界面活性剂，该涂料组成物系包含该消泡剂和氟系界面活性剂，该光阻组成物系包含该消泡剂和氟系界面活性剂。