热耦合石英圆顶散热器;THERMAL COUPLED QUARTZ DOME HEAT SINK

摘要

此述的实施例大体上关于用于处理基板的设备。该设备大体上包括处理腔室,该处理腔室中具有基板支座。复数盏灯经定位以提供辐射能穿过透光窗而至定位于基板支座上的基板。该复数盏灯定位于灯容座中。冷却通道形成于灯容座中。灯容座的表面与透光窗间隔一距离,以在该表面与该窗之间形成间隙。该间隙作为流体通道,并且适于在该间隙中容纳流体,以助于冷却该透光窗。多个紊流诱导特征形成于灯容座表面中,该等紊流诱导特征诸如为开口,诱导冷却流体之紊流,因而改善透光窗与灯容座之间的热传。