液体供给装置;LIQUID SUPPLY DEVICE

摘要

本发明之目的为：在将液体供给源的处理液从喷嘴供给至被处理体的期间，于停止从喷嘴吐出处理液时，抑制来自该喷嘴的滴液。为达成上述之目的，本发明之液体供给装置中，液体供给源2与喷嘴24之间的第1液体供给路径3A与第2液体供给路径3B，在设有液压调整阀31B的液压调整室8中，以其方向形成互相垂直的方式连接。另外，液压调整阀31B的隔膜6，系以第2液体供给路径3B之上游端对向的方式配置，并沿着第2液体供给路径3B的延伸方向自由进退地构成。接着，在处理液的吐出结束后，液体供给路径3内的液压一度降低之后开始上升时，使液压调整阀31B的隔膜6后退。