发明名称 挥发性咪唑及以咪唑为基础的第2族金属前驱物
摘要 本发明描述空间位阻咪唑配位子,及其合成,该等配位子能以η-5配位模式配位于第2族金属,例如:钙、镁、锶,该-5配位模式允许单体或二聚体挥发性错合物形成。;本发明关于一种化合物,其包含一或更多配位于金属之经多取代的咪唑基阴离子,该金属系选自由钡、锶、镁、镭或钙或其混合物所组成的群组。或者,一个阴离子可以一第二非咪唑基阴离子予以取代。;本发明预期也包括该新颖化合物的合成及其于形成BST膜的用途。
申请公布号 TWI458713 申请公布日期 2014.11.01
申请号 TW100104057 申请日期 2011.02.08
申请人 气体产品及化学品股份公司 美国 发明人 诺门 约翰 安东尼 汤马士;斐雷 梅兰尼 K;金武性
分类号 C07D233/60;C07F3/00;C23C16/40;C23C16/515;H01L21/205;H01L21/314 主分类号 C07D233/60
代理机构 代理人 陈展俊 台北市大安区和平东路2段203号4楼之2;林圣富 台北市大安区和平东路2段203号4楼之2
主权项 一种化合物,包含选自下列群组的咪唑基结构:式G所组成的群组,其中R1、R2及R3系各自独立地选自下列群组的巨型基团:三级C4至C10烷基;三级C4至C10烷氧基;三级C4至C10烷基胺;以杂原子取代的环结构官能化的C4至C10三级烷基;经醯胺基官能化的C4至C10烷基;经酯基官能化的三级C4至C10烷基及其混合物所组成的群组;(L)为选自由下列所组成的群组的中性配位子:脂族C3至C20醚或聚醚;冠醚;胺;聚胺;醯胺;聚醯胺;酯;聚酯;芳香族醚;芳香族酯;芳香族醯胺;芳香族胺;吡啶;咪唑;吡啶;吡嗪;呋喃;吡咯及其混合物;n=0至4;而且M=Ba、Sr、Ca、Ra或Mg。
地址 美国