| 发明名称 |
微影装置及在二相流动中量测流动速率的方法 |
| 摘要 |
本发明揭示一种微影装置，该微影装置包括一管道，该管道用于使二相流动通过。提供一流动分离器以将该二相流动分离成一气体流动及一液体流动。一流量计在该气体流动或该液体流动中量测流体流动速率。 |
| 申请公布号 |
TWI459151 |
申请公布日期 |
2014.11.01 |
| 申请号 |
TW099120917 |
申请日期 |
2010.06.25 |
| 申请人 |
ＡＳＭＬ荷兰公司 荷兰 |
发明人 |
克拉默 皮耶特 雅各;凡 得 耐特 安东尼奥司 乔哈奴司;攸莫林 爱瑞克 亨瑞库司 伊居帝而司 卡萨瑞纳;库柏 安东尼奥 |
| 分类号 |
G03F7/20;G01F1/76 |
主分类号 |
G03F7/20 |
| 代理机构 |
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代理人 |
陈长文 台北市松山区敦化北路201号7楼 |
| 主权项 |
一种微影装置，其包含：一管道，其用于使二相流动通过；一流动分离器，其经组态以将该二相(phase)流动分离成一气体流(gas flow)及一液体流(liquid folw)；一第一流量计，其经组态以在该气体流及/或该液体流中量测流体流动速率；及一控制器，该控制器经组态以取决于由该第一流量计所量测得到之该流体流动速率来控制通过至少一流动速率或压力调整器件或流体泵之一流动速率，该至少一流动速率或压力调整器件或流体泵经组态以改变通过该管道之流体流动。 |
| 地址 |
荷兰 |
