光波导及其制造方法;OPTICAL WAVEGUIDE AND METHOD FOR MANUFACTURING SAME

摘要

一种光波导,包括基底,所述基底内部形成有氩离子改性层;于所述基底之顶面上垂直于所述顶面开设有一第一凹槽及一第二凹槽;所述第一凹槽包括相通之第一窄径段及第一宽径段,所述第一窄径段靠近所述顶面;所述第二凹槽包括相通之第二窄径段及第二宽径段,所述第二窄径段靠近所述顶面;所述第一宽径段及第二宽径段均贯穿所述氩离子改性层;所述第一凹槽与所述第二凹槽之间形成一个突起部;所述突起部之下底面位于所述氩离子改性层;所述突起部扩散有钛金属。本发明还涉及一种光波导之制造方法。