| 摘要 |
一种光学辨识系统,用于检查一基板上之可能的一污染物,包括:承载装置,光学辨识装置及液体喷雾装置。承载装置,配置用以支撑基板,光学辨识装置,配置于承载装置上方,用以扫描基板之一上表面。液体喷雾装置,配置于承载装置上方,用以产生复数个液体粒子,其中液体粒子具有一预定尺寸范围,并适于在特定基板表面能时彼此以一预定间距与形态附着于基板之上表面,以利光学辨识装置进行扫描。当基板上未含有污染物时,液体粒子附着于上表面呈一约略球面状且具有一预定尺寸与间距范围;当基板上含有污染物时,液体粒子附着于上表面呈一薄膜状、不规则状或非预定尺寸与间距范围球面状。由光学辨识系统加以分辨基板上液体粒子是否呈现异常现象可判定是否有表面污染产生。而液体粒子可借由自然挥发、吹气挥发或升温挥发等方式加以去除。 |
