检测及分类LED晶圆的检测总成及方法;ASSEMBLY AND METHOD FOR TESTING AND CLASSIFYING LED WAFERS

摘要

本发明系关于一种用以检测及分类复数LED晶圆的检测总成及方法,该总成包含复数卡匣、一光学检测装置、一第一输送单元及一第二输送单元。复数卡匣分别设置于一待测区及一测定区中,用以承载该等LED晶圆。光学检测装置系设置于待测区及测定区之间,以检测该等LED晶圆。第一输送单元适可自待测区之该等卡匣中移动该等LED晶圆至光学检测装置,且第二输送单元适可自光学检测装置移动该等LED晶圆至测定区之该等卡匣中。